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一、FESTO真空传感器的工作原理

       FESTO真空传感器的工作原理是介质的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。

1、FESTO真空传感器的原理

       压阻式FESTO真空传感器的测量部件是一个装有固态压力芯片，该芯片利用半导体材料的压阻效应，在特定晶面上，采用集成电路工艺技术扩散成四个等值电阻，组成一个惠斯登电桥，使得形变与桥阻变化形成一一对应关系，当压力变化时，电桥失去平衡，输出一个与压力成正比的电信号，再由感应智能芯片进行非线性修正和温度补偿，最终输出与压力成线性对应关系的标准信号。

       压阻式FESTO真空传感器的测量部件是一个装有固态压力芯片，该芯片利用半导体材料的压阻效应，在特定晶面上，采用集成电路工艺技术扩散成四个等值电阻，组成一个惠斯登电桥，使得形变与桥阻变化形成一一对应关系，当压力变化时，电桥失去平衡，输出一个与压力成正比的电信号，再由感应智能芯片进行非线性修正和温度补偿，最终输出与压力成线性对应关系的标准信号。原理图如图2 所示。

2、FESTO真空传感器的理论函数

       压阻式FESTO真空传感器是压力变送器的一种，是将需要测量的真空变量转换为可输出的标准信号，输出信号与真空变量之间有一定的函数关系，主要用于测量过程中真空参数的测量与控制 [2]  。典型的二线制压阻式FESTO真空传感器的测量范围0 ～ 100 kPa、工作电压为12 ～ 36 V，工作电流为4 ～ 20 mA 的标准信号输出，采用V /I 转换电路且零位可自由迁移。压阻式FESTO真空传感器输出信号和真空度的函数关系式如公式( 1) ：I = 4 + ( 20 - 4) P' ( 1)式中： P'为某一真空状态下的示值，kPa； P 为传感器的满量程值，kPa； I 为P'真空状态下对应的输出电流值，mA。

       通过公式( 1) 可以得出某一FESTO真空传感器在测量范围内任意真空度对应的理论电流输出值，为其准确信号输出提供参考。

       在对FESTO真空传感器校准时，由于测量误差是按照测量准确度等级划分的，典型的压阻式FESTO真空传感器测量误差和准确度间的函数关系如公式( 2) ：△A = ( 20 － 4) δP ( 2)式中： △A 为测量误差的上下限值； P 为此传感器的满量程值，kPa； δ 为某一FESTO真空传感器标注的准确度等级。

       准确度等级是传感器的主要技术指标，是一个定性的概念，通过公式( 2) 可以换算出FESTO真空传感器在某一准确度等级下的测量允许误差限，可以判断FESTO真空传感器标注的准确度等级是否正确，

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